为便于供应商及时了解采购信息，根据有关规定，现将宁波东方理工大学/宁波市东方理工高等研究院2026年3月采购意向公开如下：
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 电子束成像系统采购 | 拟进行电子束成像系统采购。该系统以扫描电子显微镜（SEM）为主机，通过集成高性能电子束光刻控制系统（EBL）、大面积一体化能谱仪（EDS）及自动离子溅射仪，利用高能电子束与光刻胶的物理化学作用实现图形化，并配合前期的薄膜沉积与后期的元素分析，形成微纳加工与表征的完整工艺平台。系统广泛应用于、超构表面（Metasurfaces）、MEMS 器件及量子芯片等各种微纳结构的制备与表征，是实验型芯片工艺开发和前沿基础研究的核心工艺设备。该集成平台旨在满足学校在没有大型深紫外光刻机等设备的条件下，利用电子束曝光实现纳米级分辨率加工，并借助溅射仪完成样品前处理（如增加导电性），利用 EDS 进行微区成分检测，从而提升整体科研效率。采购标的数量：1套。维保期间对任何仪器故障提供 4 小时电话响应，48小时内免费上门服务。 | 260 | 2026年3月 |
本次公开的采购意向是本单位相关采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
宁波东方理工大学
宁波市东方理工高等研究院
2026年 2 月 6 日
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